MOCVDシステムの発熱体は2000℃に加熱されています。このような高温になるため、プランゼーのモリブデンやタングステンの高機能材料は、各種シールド、ガスコレクター、発熱体に欠かせません。プランゼーは、50種類以上のMOCVD用コンポーネントを供給しています。プランゼーは、MOCVDシステムのOEMとして認知されているだけでなく、スペアパーツ市場にも積極的に参入しています。また、改良された技術設計と特許取得済みのコーティングにより、お客様にとって単なる代替品以上の存在となっています。
均質な温度分布のための顧客独自の設計
LEDの半導体層は、ほぼ同じ波長の光を透過させる必要があります。そのためには、MOCVDシステムの温度分布が均質であることが重要な前提条件となります。温度分布に偏差があると、後に放出される光の色が変わってしまいます。弊社のエンジニアは、有限要素法（FEM）を用いて各システムのMOCVDプロセスを緻密に計算してシミュレーションし、加熱コンポーネントの設計を改善しています。この新しいコンポーネントにより、リアクターチャンバー内の温度の均質性が向上しました。お客様は、コーティングサイクルあたりの歩留まりが向上し、より高い生産性を確保することができます。
弊社はお客様と協力して、MOCVDリアクター用の発熱体やその他のコンポーネントのカスタマイズ設計を行っています。
