お客様の用途に最適な素材
蒸着コイルには、以下のような素材が使われています。
- アルミニウム蒸着用のWVM（真空蒸着用粒状安定化タングステン）。
- タンタル
- モリブデン
- 長寿命のモリブデン・ランタン(ML)
タングステン、モリブデン、タンタル製の蒸発コイル
熱真空蒸着法 （蒸発抵抗）は、 PVD （物理的気相法）プロセスのひとつで、コーティング法のひとつです。最終層の材料は、真空チャンバー内で蒸発するまで 加熱されます。材料の蒸気は、目的の層のために基板上で 凝縮 します。
蒸着コイルは、抵抗発熱体としては非常に高い融点を持っています。つまり、ほとんどすべての材料を最高温度まで加熱することができるのです。
一目でわかるメリット：
高
耐蝕性高純度の材料を使用しているため、基板上に不純物が発生しない
高い寸法安定性
標準寸法一覧
弊社では以下の標準寸法を在庫しています。お客様のご要望に応じて、その他の寸法もお作りすることができます。お気軽にお問い合わせください。
| 商品 番号 |
コイル指定 | 直径 [mm] |
ストランド 数 |
長さL [mm] |
直径 FD [mm] |
コイル の長さ FL [mm] |
コイル 間隔 P [mm] |
| 11793590 | SS05S3-100 | 0.5 | 3 |
100 | |||
| 11793591 | SS08S3-100 | 0.8 | 3 |
100 | |||
| 11793597 | SU05S3-100-1554P01 | 0.5 | 3 |
100 | 14.5 | 54 | 1.0 |
| 11793594 | SU08S3-100-1554P01 | 0.8 | 3 |
100 | 14.5 | 54 | 1.0 |
| 11793599 | SV08S3-100-1513P01 | 0.8 | 3 |
100 | 15.2 | 13 | 1.0 |
| 11793600 | SV10S3-100-1914P01 | 1.0 | 3 |
100 | 19.5 | 14 | 1.0 |
| 11793601 | SV05S3-100-1513P01 | 0.5 | 3 |
100 | 15.2 | 13 | 1.0 |
| 11738657 | SH08S3-100-0644P04 | 0.8 | 3 |
100 | 6.4 | 44 | 4.0 |
| 11738666 | SH08S3-100-0548P05 | 0.8 | 3 |
100 | 4.8 | 47.7 | 5.3 |
| 11738671 | SH08S3-100-0648P08 | 0.8 | 3 |
100 | 6.4 | 48 | 8.0 |
| 11780142 | SH05S3-100-0550P06 | 0.5 | 3 |
100 | 5.0 | 50 | 5.5 |
| 11740567 | SH10S3-100-0750P08 | 1.0 | 3 | 100 | 6.5 | 50 | 8.3 |
| 11502785 | SH10S3-100-0744P04 | 1.0 | 3 | 100 | 6.5 | 44 | 4.0 |
| 11738674 | SB06S3-100-1114P02 | 0.6 | 3 | 100 | 10.5 | 14 | 2.1 |
| 11738679 | SB10S1-080-1110P02 | 1.0 | 1 | 80 |
11.3 | 10 | 1.8 |
| 11780144 | SB10S1-100-1110P02 | 1.0 | 1 | 100 | 11.3 | 10 | 1.8 |
| 11793603 | SB05S3-100-1114P02 | 0.5 | 3 | 100 | 10.6 | 13.5 | 1.8 |
| 11793605 | SB08S3-100-2329P04 | 0.8 | 3 | 100 | 23.1 | 29 | 3.67 |
| 11793606 | SB08S3-100-1623P03 | 0.8 | 3 | 100 | 16.2 | 23.3 | 3.07 |
| 11793608 | SB06S3-130-1114P02 | 0.6 | 3 | 130 | 10.5 | 14 | 2.1 |
| 11793609 | SB08S3-100-1114P02 | 0.8 | 3 | 100 | 10.6 | 13.5 | 1.7 |
| 11793611 | SB08S1-100-1114P02 | 0.8 | 1 | 100 | 10.6 | 13.5 | 1.8 |
蒸着コイルの品番
蒸着コイルの品番は、より詳細な情報が得られます。これは以下のように構成されています。
