당사는 크로뮴으로 제작된 튜브형 캐소드, 원형 캐소드 또는 판형 스퍼터링 타겟을 공급합니다. 이 제품들은 고순도(HP) 및 초고순도(UHP)로 준비되어 있습니다.
가장 중요한 정보 요약:
크로뮴 스퍼터링 타겟과 캐소드
크로뮴(Cr)과 질화크로뮴(CrN)은 경질 소재 레이어로 이용 시 피스톤 링과 같은 엔진 부품을 빠른 마모로부터 최적으로 보호하여 결과적으로 중요한 부품들의 서비스 수명을 연장합니다. 버킷 태핏과 같은 다른 부품의 경우, 크로뮴은 DLC (Diamond Like Carbon; 유사다이아몬드 탄소)의 접착 레이어로 이용됩니다. 당사의 크로뮴은 또한 시계, 전자기기, 제어 부품 및 기타 많은 제품이 반짝반짝 빛날 수 있도록 장식 레이어로 이용되기도 합니다.
한눈에 보는 당사 타겟의 장점:
최적화된 설계
결합 가능성
최적의 균질 미세구조
최고의 소재 순도
여러분만의 요건에 맞춘 생산
| 크로뮴 | UHP | HP | |
| 금속 순도 [%] | 99.95 | 99.8 | |
| 금속 불순물 [μg/g] | Fe Si 기타 |
300 100 150 |
1500 500 400 |
| 비금속 불순물 [μg/g] | O N C |
300 200 100 |
1,000 200 300 |
| 보장 밀도 [g/cm3] | 7.12 | 7.12 | |
| 입자 크기 [µm] | 100 | 100 | |
| 열전도성 [W/(m·K)] | 최대 250 | 최대 150 | |
| 열팽창계수 [1/K] | 7 · 10-6 | 7 · 10-6 | |
의지할 수 있는 품질
최고 품질을 위한 최고의 소재 순도
더욱 순수한 코팅 소재, 더욱 훌륭한 경질 레이어 품질. 당사는 착수 단계부터 가장 순수한 분말만을 이용하며 이것을 자체 설비에서 혼합하여 최고의 소재 순도를 보장합니다. 당사는 분말부터 완제품까지 모든 단계를 모니터링하여 밀도, 순도와 균질한 미세구조가 구체적으로 확보된 상태의 타겟만이 출고되도록 합니다.
분말부터 완성된 타겟까지 모두 한 소스에서
업계를 선도하는 타겟 제조업체로서, 당사는 모든 것을 자체적으로 합니다. 금속 분말 혼합 및 단조부터 머시닝과 타겟 결합까지, 당사는 코팅 공정과 레이어 최적화를 위한 신소재 개발도 하고 있습니다. 물론 최첨단 측정법을 이용하여 타겟의 품질을 테스트하기도 합니다.
다음의 코팅 공정에 이용할 수 있습니다
당사는 PVD 코팅 공정에서는 모든 것이 반드시 완벽히 매칭되어야 한다는 점을 아주 잘 알고 있습니다. 이렇게 하려면 고품질 스퍼터링 타겟, 아크 캐소드, 공정 파라미터 사이의 완벽한 상호 작용이 있어야 하며, 이 경우에만 여러분의 요건에 정확히 맞게 생산이 됩니다. 즉, 고객들과 수많은 개발 기관들과의 협업을 새로운 코팅 소재가 지속적으로 개발되고 있다는 뜻입니다.
장식용 크로뮴 코팅은 마그네트론 스퍼터링 공정으로 적용됩니다. 내마모성 및 접착 코팅 또한 아크 증착으로 제작 가능합니다.
- 마그네트론 스퍼터링“PVD 코팅의 원리” 영상으로
몰리브덴 박막은 마그네트론 스퍼터링(캐소드 스퍼터링) 공정을 통해 입혀집니다. 이런 진공 기반 코팅 공정에서 소스 소재는 스퍼터링 타겟의 형태를 합니다.
수백 볼트의 전압과 아르곤 가스를 적용하여 진공 챔버에서 플라스마가 점화됩니다. 이 플라스마는 양전하가 충전된 아르곤 입자(아르곤 이온)과 자유전자로 이루어져 있습니다. 양전하 아르곤 이온은 전기장 통해 음전하 캐소드(타겟)을 향해 가속됩니다. 이 이온들은 수십에서 최고 수백 일렉트론볼트(eV)의 높은 운동에너지로 타겟의 표면을 때립니다. 그 결과, 당구공과 비슷하게 아르곤 입자들이 스퍼터링 타겟 원자가 표면 밖으로 나오도록 힘을 가하게 됩니다. 이런 원리로 코팅 소재가 천천히 부식됩니다. 타겟에서 방출된 원자는 진공 챔버를 통해 박막층으로 적층되는 반대 기판으로 이동합니다(샤워기를 틀어두면 화장실 거울 위로 수증기 막이 생기는 것과 비슷).
- 아크 증착
아크 증착(아크 공정) 중에 알루미늄, 티타늄, 크로뮴 기반 경질 소재 레이어가 공구에 입혀집니다. 이런 진공 기반 코팅 공정에서 소스 소재는 아크 캐소드의 형태를 합니다.
수백 볼트의 전압이 진공 챔버에서 아노드와 양전하 아크 캐소드 사이에 인가됩니다. 그러면 아크가 형성됩니다. 아크는 소재를 최소한으로 녹이거나 증착하면서 아크 캐소드를 위아래로 움직입니다. 양전하 금속 이온은 증착된 캐소드 입자에서 약 90%가 형성됩니다. 그러면 진공 챔버와 기판 사이에 바이어스 전압이 인가되는 것입니다. 이렇게 되면 금속 이온이 코팅될 공작물을 향해 가속됩니다. 그러다 이미 유입되어 있던 활성 가스(질소, 탄화수소, 산소)와 반응하여 공작물 위에 얇은 질화, 탄화, 산화 경질 레이어로 입혀집니다.
개별 기업에 맞는 스퍼터링 타겟과 아크 캐소드를 위한 당사의 전문성
최적의 레이어를 찾고 계십니까? 수십 년을 이어온 당사의 전문성과 화학 조성 그리고 제조 공정에 대한 대규모 데이터베이스를 믿어보십시오. 당사의 팀은 계속 스퍼터링 타겟과 아크 캐소드를 개발하여 다음과 같은 소재 속성들을 개선하고 있습니다.
- 입자 크기와 미세구조
- 연성
- 재료 경도
- 내산화성
- 마찰계수
- 온도저항성
여러분의 요건에 정확히 맞도록 크로뮴 혼합물에 다른 원소를 첨가하여 완벽하게 맞추어드릴 수 있습니다. 연락주십시오!
코팅 기술용 기타 제품
당사는 기꺼이 흑연 포일, 나사, 와셔, 볼드와 같이 적절한 잠금 소재를 제공하고 타겟을 몰리브덴 또는 구리 후면 플레이트에 결합해드립니다. 이렇게 하면 타겟이 더욱 안정적이면서 파손에 강해집니다. 당사는 땜납으로 보통 인듐을 이용하지만, 응용 분야에 따라 다른 소재 또한 사용할 수 있습니다.
