튜브형 캐소드, 원형 캐소드, 평면 스퍼터링 타겟 등 여러분의 응용분야에 맞추어 맞춤 제공해드릴 수 있습니다. 가장 중요한 정보 요약:
티타늄-알루미늄 스퍼터링 타겟과 캐소드
Plansee의 티타늄-알루미늄(TiAl) 타겟과 캐소드는 드릴, 절삭기, 인덱서블 커팅 인서트와 기타 공구들에 단단하고 산화에 강한 질소화 코팅(TiAlN)을 제공합니다. 빠른 피드 속도, 뛰어난 절삭 성능, 대량 칩 볼륨은 티타늄-알루미늄 기반 코팅에서는 문제되지 않습니다. 이 소재는 단 1/1000로도 공구를 마모로부터 보호하여 결과적으로 서비스 수명을 연장시켜줍니다. TiAl 타겟과 캐소드는 휴대전화, 클래스 프레임, 럭셔리 워치의 다이얼과 같은 전자제품의 장식용 코팅에도 이용됩니다.
한눈에 보는 당사 타겟의 장점:
높은 연성
훌륭한 열전도성
최적의 균질 미세구조
최고의 소재 순도
여러분만의 요건에 맞춘 생산
| 티타늄 / 알루미늄 함유량 [At.-%] | 25 / 75 | 30 / 70 | 33 / 67 | 40 / 60 | 50 / 50 | 75 / 25 |
| 순도 [%] | 99.7 | 99.7 | 99.7 | 99.7 | 99.7 | 99.7 |
| 보장 밀도 [g/cm3] | 3.11 | 3.20 | 3.26 | 3.38 | 3.56 | 4.00 |
| 표준 입자 크기 / 미세 입자 [µm] | 100 / 50 | 100 / 50 | 100 / 50 | 100 / 50 | 100 / 50 | 100 / 50 |
| 열전도성 [W/(m·K)] | 115 | - | 102 | - | 61 | 30 |
| 열팽창계수 [1/K] | 21 · 10-6 | 18 · 10-6 | 16 · 10-6 | 13 · 10-6 |
의지할 수 있는 품질
높은 연성으로 긴 서비스 수명 보장
Plansee의 스퍼터링 타겟과 아크 캐소드는 코팅 공정 중 발생하는 엄청난 압박을 견딜 수 있어야 합니다. 타겟의 가장자리 소재에는 1메트릭톤에 달하는 힘이 가해집니다. 취약한 소재는 부서지겠지만, Plansee의 소재는 기본적으로 알루미늄이어서 특히 연성이 좋습니다. TiAl 타겟의 높은 연성을 얻기 위해서는 알루미늄이 반드시 최대한 균질하게 분포되어 있어야 합니다. 따라서 당사의 티타늄-알루미늄 파우더는 주의깊게 혼합된 후 성형을 통해 압축됩니다. 이렇게 하면 금속 용해 공정으로 제작되는 소재들보다 훨씬 균질하고 고운 미세구조를 지닌 소재를 만들 수 있습니다. 분말 야금 제조 공정의 장점은 특히 파손에 강한 타겟을 얻을 수 있다는 것입니다.
뛰어난 열전도성으로 매끄러운 레이어 보장
당사의 타겟과 캐소드는 코팅 공정 중에 고온에 노출됩니다. 하지만 당사의 소재가 녹을 정도는 아닙니다. 알루미늄 함량과 높은 소재 밀도 덕분에 Plansee의 캐소드와 타겟은 열전도성이 특히 좋으며, 뒤의 구리 플레이트로 열을 쉽게 전달합니다. 열이 누적되면 타겟 소재는 불균등하게 벗겨져 공구 코팅의 표면에 작은 방울을 형성합니다. 하지만 당사의 타겟은 낮은 온도를 유지하여 코팅이 더 매끄럽게 됩니다.
완벽한 레이어를 위한 최적의 미세구조
거친 금속 분말, 아니면 미세 금속 분말. 단조, HIP, 아니면 다른 유형의 축 성형. 당사는 제조 공정을 다각화하고 결합하여 특히 매끄럽고 고운 레이어를 얻으실 수 있도록 합니다. 타겟과 캐소드에 최적의 미세구조를. 이것이 당사의 변치않는 목표입니다. 즉, 코팅 중에 제품에 확연히 더 적은 기포가 생긴다는 뜻입니다. 그 결과 특히 매끄러운 레이어가 탄생합니다.
최고 품질을 위한 최고의 소재 순도
더욱 순수한 코팅 소재, 더욱 훌륭한 경질 레이어 품질. 당사는 착수 단계부터 가장 순수한 분말만을 이용하며 이것을 자체 설비에서 혼합하여 최고의 소재 순도를 보장합니다. 당사는 분말부터 완제품까지 모든 단계를 모니터링하여 밀도, 순도와 균질한 미세구조가 구체적으로 확보된 상태의 타겟만이 출고되도록 합니다.
분말부터 완성된 타겟까지 모두 한 소스에서
업계를 선도하는 타겟 제조업체로서, 당사는 모든 것을 자체적으로 합니다. 금속 분말 혼합 및 단조부터 머시닝과 타겟 결합까지, 당사는 코팅 공정과 레이어 최적화를 위한 신소재 개발도 하고 있습니다. 물론 최첨단 측정법을 이용하여 타겟의 품질을 테스트하기도 합니다.
Oerlikon Balzers는 Plansee의 타겟과 캐소드에 의존하는 기업입니다. 공구와 부품 코팅 분야의 선두 제조업체인 이 기업은 알루미늄-크로뮴 질화 코팅에서 평균을 뛰어넘는 성능과 광범위한 적용 분야로 특히 깊은 인상을 주고 있습니다.
TiN 또는 TiAIN으로 제작된 표준 코팅(다이어그램에서 ‘기본 코팅’을 가리킴)은 훌륭한 평균 성능과 함께 매우 광범위한 응용 분야에서 이용됩니다. AlCrN 코팅을 채택하면, 이렇게 넓은 응용 분야에서 더욱 탁월한 성능을 얻을 수 있습니다. 특수 응용 분야에서 더욱 뛰어난 최적화를 위해, TiAl 또는 AlCr 타겟에 용도에 맞는 원소를 추가하여 코팅의 성능을 다시 한 번 확연히 개선할 수도 있습니다.
다음의 코팅 공정에 이용할 수 있습니다
당사는 PVD 코팅 공정에서는 모든 것이 반드시 완벽히 매칭되어야 한다는 점을 아주 잘 알고 있습니다. 이렇게 하려면 고품질 스퍼터링 타겟, 아크 캐소드, 공정 파라미터 사이의 완벽한 상호 작용이 있어야 하며, 이 경우에만 여러분의 요건에 정확히 맞게 생산이 됩니다. 즉, 고객들과 수많은 개발 기관들과의 협업을 새로운 코팅 소재가 지속적으로 개발되고 있다는 뜻입니다.
당사의 소재는 반응형 마그네트론 스퍼터링 공정 또는 아크 증착 방식으로 적용되며 질소 대기에서 기질에 질화물 경성 소재 레이어를 형성합니다.
- 활성 마그네트론 스퍼터링
알루미늄, 티타늄, 지르코늄, 크로뮴, 세라믹을 기반으로 하는 경질 소재 레이어와 장식 레이어는 활성 마그네트론 스퍼터링을 통해 공구, 구성품, 기타 제품에 적용됩니다.
코팅 소재는 진공 챔버 안에서 스퍼터링 타겟으로 코팅될 제품의 반대편에 놓입니다. 그 후 챔버에 아르곤 가스가 차고 수백 볼트의 전압이 인가됩니다. 그러면 양전하가 충전된 아르곤 입자(아르곤 이온)과 자유전자로 이루어진 플라스마가 점화됩니다. 양전하 아르곤 이온은 음전하 캐소드(타겟)을 향해 가속됩니다. 이 이온들은 최고 수백 일렉트론볼트(eV)의 높은 운동에너지로 타겟의 표면을 때립니다. 그 결과, 아르곤 입자들이 스퍼터링 타겟 원자가 표면 밖으로 나오도록 힘을 가하게 됩니다. 그러면 진공 챔버와 기판 사이에 포텐셜이 인가되는 것입니다. 이렇게 되면 경질 소재의 입자들이 코팅될 공작물을 향해 가속됩니다. 그러다 이미 유입되어 있던 활성 가스(질소, 탄소, 산소)와 반응하여 공작물 위에 얇은 질화, 탄화, 산화 경질 레이어로 입혀집니다.
- 아크 증착
아크 증착(아크 공정) 중에 알루미늄, 티타늄, 크로뮴 기반 경질 소재 레이어가 공구에 입혀집니다. 이런 진공 기반 코팅 공정에서 소스 소재는 아크 캐소드의 형태를 합니다.
수백 볼트의 전압이 진공 챔버에서 아노드와 양전하 아크 캐소드 사이에 인가됩니다. 그러면 아크가 형성됩니다. 아크는 소재를 최소한으로 녹이거나 증착하면서 아크 캐소드를 위아래로 움직입니다. 양전하 금속 이온은 증착된 캐소드 입자에서 약 90%가 형성됩니다. 그러면 진공 챔버와 기판 사이에 바이어스 전압이 인가되는 것입니다. 이렇게 되면 금속 이온이 코팅될 공작물을 향해 가속됩니다. 그러다 이미 유입되어 있던 활성 가스(질소, 탄화수소, 산소)와 반응하여 공작물 위에 얇은 질화, 탄화, 산화 경질 레이어로 입혀집니다.
개별 기업에 맞는 스퍼터링 타겟과 아크 캐소드를 위한 당사의 전문성
최적의 레이어를 찾고 계십니까? 수십 년을 이어온 당사의 전문성과 화학 조성 그리고 제조 공정에 대한 대규모 데이터베이스를 믿어보십시오.
당사의 팀은 계속 스퍼터링 타겟과 아크 캐소드를 개발하여 다음과 같은 소재와 코팅 속성들을 개선하고 있습니다.
- 입자 크기와 미세구조
- 연성
- 재료 경도
- 내산화성
- 마찰계수
- 온도저항성
- 열전도성
- 전기전도성
- 배색 효과
- 박테리아 방지 속성
여러분의 요건에 정확히 맞도록 티타늄-알루미늄 혼합물에 다른 원소를 첨가하여 완벽하게 맞추어드릴 수도 있습니다. 당사는 니오븀, 탄탈륨, 몰리브덴 또는 텅스텐을 첨가하여 고온 안정성을 개선합니다. 붕소와 결합하여 향상된 경도 를 얻으며, 이트륨과 하프늄을 통해 내산화성을 개선합니다 . 실리콘을 첨가하면 미세구조 가 정교해지며 산화에 대한 저항성도 향상됩니다. 당사는 여러분께 적합한 소재 조합을 기쁘게 찾아드릴 것입니다. 연락해주세요!
Ti-Al-N 코팅 공구: 몰리브덴을 이용한 덕분에 확연히 덜 마모됩니다
마모 방지 분야에 대한 새로운 PVD 레잉 개발과 관련하여 오스트리아 빈의 주요 기술대학교인 TU Wien의 실험실 테스트에서는 Mo 합금이 머시닝 공정에서 마모를 크게 줄여준다는 것을 밝혀냈습니다. Christian-Doppler 연구실에서 실시한 이 연구에는 Plansee, Oerlikon Surface Solutions AG, 소재 과학 기술 연구소(Institute of Materials Science and Technology)가 참여하였습니다.
자세한 연구 결과는 미국 진공 협회(American Vacuum Society)에서 발간한 Journal of Vacuum Science and Technology(진공 과학 및 기술 저널)에 “열안정성, 내산화성, 아크 증착 Ti-Al-N 코팅의 마찰기계적 속성에 대한 Mo의 효과(Effect of Mo on the thermal stability, oxidation resistance, and tribo-mechanical properties of arc evaporated Ti-Al-N coatings)”라는 제목으로 출판되었습니다.
코팅 기술용 기타 제품
히트 싱크가 통합된 당사의 알루미늄 기반 타겟과 캐소드는 테스트해보실 수도 있습니다. 이 제품들은 훨씬 더 높은 열전도성으로 깊은 인상을 주며, 타겟 가장자리는 더욱 안정적입니다. 당사의 알루미늄 히트 싱크는 타겟 소재에 직접 연결되어 있습니다.
제품 페이지를 방문하여 다른 소재로 제작된 타겟에 대해 더 알아보십시오.
