당사는 판재, 튜브, 봉재와 같은 반제품을 재고로 준비하고 있어 짧은 납기를 보장합니다. 또한 모든 일반적인 크기와 형태의 스퍼터링 타겟과 아크 캐소드로 두 소재를 모두 제공합니다.
가장 중요한 정보 요약:
티타늄 및 지르코늄 스퍼터링 타겟과 캐소드
당사는 티타늄(Ti) 및 지르코늄(Zr) 질화물 및 탄화물 레이어를 통해 드릴, 커터, 인덱스 커팅 인서트 등의 공구를 마모로부터 비용효율적이고 안정적으로 보호해드릴 수 있습니다. 또한 지르코늄은 황동과 색상이 유사하여, 예를 들어 제어 요소 및 피팅과 같은 곳의 장식 코팅에도 적절합니다.
한눈에 보는 당사 타겟의 장점:
높은 연성
최적의 균질 미세구조
최고의 소재 순도
여러분만의 요건에 맞춘 생산
| 소재 | 티타늄 | 지르코늄 |
| 순도 [%] | 99.6 | 99.2 |
| 보장 밀도 [g/cm3] | 4.5 | 6.5 |
| 입자 크기 [µm] | 100 | 100 |
| 열전도성 [W/(m·K)] | 22.0 | 22.7 |
| 열팽창계수 [1/K] | 8.6 · 10-6 | 4.8 · 10-6 |
티타늄 설명
상용 티타늄은 네 가지 품질 등급(1, 2, 3, 4등급)으로 이용할 수 있습니다. 이용되는 이 품질 등급은 해당되는 응용 분야에 필요한 내부식성, 연성, 강도에 따라 다릅니다. 1등급은 변형률이 가장이 높으며, 4등급은 강도가 가장 높고 덜 변형됩니다.
PVD 코팅 분야에 가장 일반적으로 이용되는 티타늄 등급은 2등급입니다. 당사에는 플레이트, 판재, 봉재와 같은 등급2 티타늄 압연 제품이 대량으로 다양하게 재고로 준비되어 있어 고객들에게 짧은 납기를 보장해드립니다. 또한 복잡한 머시닝 공정을 이용하여 반제품을 머시닝하고 가공합니다.
지르코늄 설명
상용으로 이용 가능한 순수 지르코늄은 자연에서 1-5%의 하프늄을 함유하며, 이 두 원소를 분리하는 것은 극도로 까다롭습니다. 순수한 지르코늄은 합금 702로 알려져 있습니다. 지르코늄 타겟은 보통 장식 용도로 ZrN 레이어로 이용됩니다. 이 소재는 색이 황동과 비슷하며 내부식성은 TiN 레이어보다 높습니다. 당사는 모든 표준 치수의 지르코늄 타겟을 제공합니다.
다음의 코팅 공정에 이용할 수 있습니다
티타늄 및 지르코늄으로 제작된 코팅은 활성 마그네트론 스퍼터링 공정 또는 아크 증착을 통해 적용됩니다.
- 활성 마그네트론 스퍼터링
알루미늄, 티타늄, 지르코늄, 크로뮴, 세라믹을 기반으로 하는 경질 소재 레이어와 장식 레이어는 활성 마그네트론 스퍼터링을 통해 공구, 구성품, 기타 제품에 적용됩니다.
코팅 소재는 진공 챔버 안에서 스퍼터링 타겟으로 코팅될 제품의 반대편에 놓입니다. 그 후 챔버에 아르곤 가스가 차고 수백 볼트의 전압이 인가됩니다. 그러면 양전하가 충전된 아르곤 입자(아르곤 이온)과 자유전자로 이루어진 플라스마가 점화됩니다. 양전하 아르곤 이온은 음전하 캐소드(타겟)을 향해 가속됩니다. 이 이온들은 최고 수백 일렉트론볼트(eV)의 높은 운동에너지로 타겟의 표면을 때립니다. 그 결과, 아르곤 입자들이 스퍼터링 타겟 원자가 표면 밖으로 나오도록 힘을 가하게 됩니다. 그러면 진공 챔버와 기판 사이에 포텐셜이 인가되는 것입니다. 이렇게 되면 경질 소재의 입자들이 코팅될 공작물을 향해 가속됩니다. 그러다 이미 유입되어 있던 활성 가스(질소, 탄소, 산소)와 반응하여 공작물 위에 얇은 질화, 탄화, 산화 경질 레이어로 입혀집니다.
- 아크 증착
공구에 적용된 지르코늄과 크로늄 이런 진공 기반 코팅 공정에서 소스 소재는 아크 캐소드의 형태를 합니다.
수백 볼트의 전압이 진공 챔버에서 아노드와 양전하 아크 캐소드 사이에 인가됩니다. 그러면 아크가 형성됩니다. 아크는 소재를 최소한으로 녹이거나 증착하면서 아크 캐소드를 위아래로 움직입니다. 양전하 금속 이온은 증착된 캐소드 입자에서 약 90%가 형성됩니다. 그러면 진공 챔버와 기판 사이에 바이어스 전압이 인가되는 것입니다. 이렇게 되면 금속 이온이 코팅될 공작물을 향해 가속됩니다. 그러다 이미 유입되어 있던 활성 가스(질소, 탄화수소, 산소)와 반응하여 공작물 위에 얇은 질화, 탄화, 산화 경질 레이어로 입혀집니다.
코팅 기술용 기타 제품
당사는 흑연 포일, 나사, 와셔, 볼트와 같이 해당되는 잠금 소재 또한 제공합니다.
그 외 소재에 대해서는 당사의 제품 페이지를 방문하십시오.
